AMHS: Automated Material Handling System

CIM: Computer Integrated Manufacturing

NetSphere ECS for AMHS & CIM 는 FPD, Semiconductor Clean FAB에서 EQP 또는 물류 반송 설비, 보관설비를 제어하는 운영하는 시스템 입니다. 장비 (Device)와 상위 Host (MES, MCS)를 연결하여 공정 데이터 및 물류 반송 데이터를 Host로 보고하고 Host로 부터 공정 지시와 반송 지시 데이터를 수신하여 장비를 운영하는 시스템으로 Semi Standard 를 기반으로 합니다. 

FPD: Flat Panel Display

FAB: 팹(FAB)이란, 제조를 의미하는 "Fabrication" 의 약자로 반도체 소자 (Semiconductor device)를 만드는 제조라인을 가리키는 말이다. 

MES: Manufacturing Execution System

MCS: Manufacturing Control System